ÔڿƼ¼Ò»Ö±Éú³¤µÄ½ñÌ죬΢Ãס¢ÄÉÃ×±ê×¼µÄÊÖÒÕÍ»ÆÆ³ÉÎªÍÆ¶¯¹¤ÒµÀå¸ïµÄ½¹µã¶¯Á¦¡£ÈÕ±¾×÷ΪÌìÏ¿Ƽ¼Á¢ÒìµÄÖ÷ÒªÒýÇæ£¬Ò»Ö±ÔÚÖÊÁÏ¿ÆÑ§¡¢°ëµ¼ÌåÖÆÔì¡¢ÄÉÃ×ÊÖÒÕµÈÁìÓòÉî¸ûϸ×÷¡£¿ËÈÕ£¬ÈÕ±¾µÄÉÙÊÖÒÕ£¨¼´¡°ÉÙ¡±×Ö´ú±íµÄ΢ÐÍ»¯¡¢Ï¸Ä廯ÊÖÒÕ£©ÔÙ´«¼ÑÒô£ºÔÚ100ÄÉÃ×£¨nm£©¼¶±ðµÄÍ»ÆÆ£¬ÎªÏà¹Ø¹¤Òµ´øÀ´ÁËØ¨¹ÅδÓеÄË¢ÐÂDZÁ¦¡£
´Ó΢¹Ûµ½ºê¹Û£¬ÕâÒ»ÊÖÒյijÉÊìÕýÒýÁìÒ»ÖÖȫеÄÉúÑÄ·½·¨Àå¸ï£¬Ò²Îª¸ß¾«¶È¹¤ÒµÌṩÁ˼áʵµÄ»ù´¡¡£
Õâ¸ö¡°100nmÍ»ÆÆ¡±ÊÂʵÒâζ×Åʲô£¿ÔڹŰåÖÆÔìºÍÊÖÒÕÖУ¬³ß´çµÄ΢ËõÖ𽥵ִKÏÞ£¬µ«ÈÕ±¾¿ÆÑ§¼ÒºÍ¹¤³Ìʦͨ¹ýÁ¢Ò칤ÒÕ£¬½«ÕâÒ»¼«ÏÞÍÆÖÁ100ÄÉÃ×£¬±ê¼Ç×Å΢¹ÛÖÆÔì½øÈëеĸ߶ȡ£Õâ¸ö±ê×¼±ÈÎÒÃÇÈâÑۿɼûµÄ΢Ã×¼¶¸üϸÄ壬´øÀ´µÄ²»µ«ÊǸü¸ßµÄ¾«¶È£¬¸üÊÇÎÞÏÞµÄÓ¦ÓÿÉÄÜ¡£
δÀ´£¬100nmµÄÊÖÒÕ½«Éî¶ÈÈÚÈëÊÖ»úоƬ¡¢Ò½ÁÆ×°±¸¡¢ÖÇÄÜÒÂ×Å¡¢ÇéÐμì²âµÈ¶à¸öÁìÓò¡£ÀýÈ磬ÔÚ°ëµ¼ÌåÐ¾Æ¬ÖÆÔìÖУ¬100nm¼¶±ðµÄ¹¤ÒÕÒâζ×ŵç·¿ÉÒÔ¸ü÷缯¡¢ËÙÂʸü¿ì¡¢ÄܺĸüµÍ£¬Îª¸ß¶ËÊÖ»ú¡¢Ð§ÀÍÆ÷ÌṩÁ˸üÇ¿µÄÅÌËãÐÔÄÜ¡£ÔÚÒ½ÁÆ·½Ã棬ÄÉÃ×¼¶µÄ´«¸ÐÆ÷¿ÉÒÔʵÏÖ¶ÔÈËÌå΢¹Ûת±äµÄʵʱ¼à²â£¬Ìá¸ßÕï¶ÏµÄ׼ȷÐÔºÍʵʱÐÔ¡£
ÔÚÇéÐα£»¤·½Ã棬΢ÐÍ´«¸ÐÆ÷¿ÉÒÔʵÏÖ¶Ô¿ÕÆø¡¢Ë®Öʵĸ߾«¶È¼ì²â£¬Îª¶¼»áÖÎÀíºÍ¹«¹²Çå¾²ÌṩÓÐÁ¦°ü¹Ü¡£
¸üÁîÈËÕñ·ÜµÄÊÇ£¬ÈÕ±¾ÔÚÍ»ÆÆÊÖÒÕµÄÒ²ÍÆ¶¯ÁËÕû¸öÉú̬ϵͳµÄÁ¢Òì¡£´ÓÖÊÁÏÑз¢µ½×°±¸ÖÆÔ죬´Ó¹¤ÒÕˢе½Ó¦ÓÃÍÆ¹ã£¬Ã¿Ò»²½¶¼Ï¸ÃÜÏàÁ¬£¬ÐγÉÁËǿʢµÄ¹¤ÒµÁ´Ìõ¡£ÆóÒµ·×·×ͶÈëÑз¢£¬ÕùÏàÕÆÎÕ½¹µãÊÖÒÕ£¬´Ó¶øÔÚÈ«ÇòÊг¡Õ¼ÓÐÓÐÀûλÖá£
ÕâһϵÁÐÀå¸ïµÄ±³ºó£¬ÊÇÈÕ±¾¿ÆÑ§¼ÒnightsonÉî¸ûµÄÖǻۺÍÒ»Á¬Á¢ÒìµÄÆð¾¢¡£Í¨¹ýÒ»Ö±µü´úµÄÊÖÒÕˢУ¬ÈÕ±¾µÄÉÙÊÖÒÕδÀ´ÓÐÍûʵÏÖ¸üС¡¢¸ü¿ì¡¢¸üÖÇÄܵÄϵͳ¡ª¡ªºÃ±È΢ÐÍ»úеÈËÔÚÒ½ÁÆ¡¢¹¤Òµ¡¢¼ÒÍ¥ÖÐµÄÆÕ¼°£¬»òÕßÏÂÒ»´ú³¬µÈÅÌËã»úµÄ΢оƬÁ¢Òì¡£Õâ²»µ«ÊǿƼ¼µÄ±¼ÌÚ£¬¸ü¿ÉÄÜÉî¿Ì¸Ä±ä¿·¢k8¹ú¼ÊÒ»Ñùƽ³£ÉúÑÄ¡£
Ëæ×ÅÕâÒ»ÊÖÒÕµÄÒ»Ö±Í»ÆÆºÍ³ÉÊ죬δÀ´Ã¿Ð¡ÎÒ˽¼Ò¶¼¿ÉÄÜÉí´¦ÔÚÒ»¸öÔ½·¢ÖÇÄÜ¡¢±ã½ÝµÄÉúÑÄÇéÐÎÖУ¬ÎÞÂÛÊÇÖÇÄܼҾӡ¢Öǻ۽»Í¨£¬ÕվɸöÐÔ»¯Ò½ÁÆ£¬¶¼½«ÓÉ΢Ã×ÉõÖÁÄÉÃ×¼¶±ðµÄÊÖÒÕÒýÁì×ßÏòеÄá¯Áë¡£
ÖµµÃ×¢ÖØµÄÊÇ£¬ÕâÒ»ÁìÓòµÄ¸ßËÙÉú³¤Ò²Åãͬ×ÅÖîÈçÊÖÒÕÇå¾²¡¢Òþ˽±£»¤¡¢Â×ÀíÆ·µÂµÈÐÂÌôÕ½¡£ºÏÀíî¿Ïµ¡¢¿Æ¼¼Â×ÀíµÄ½¨É裬½«È·±£Õâ³¡Í»ÆÆ´øÀ´µÄÓ¯Àû»Ý¼°Ã¿Ð¡ÎÒ˽¼Ò¡£¶øÈÕ±¾ÕýÒÔÎȽ¡µÄ×Ë̬£¬Íƶ¯¿Æ¼¼ÓëÉç»áµÄÉî¶ÈÈںϣ¬ÎªÈ«ÇòÊ÷Á¢ÁËÀÖªϰ·¶¡£
100ÄÉÃ×¼¶µÄÍ»ÆÆ£¬²»µ«ÊÇÈÕ±¾¿Æ¼¼µÄÒ»´ÎÀï³Ì±®£¬Ò²ÊÇδÀ´¸ß¾«¶È¹¤ÒµÌڷɵĽ¹µã¶¯Á¦¡£Ëæ×ÅÊÖÒÕµÄÒ»Ö±É£¬ÉúÑĵÄÿһ¸öϸ½Ú¶¼½«±äµÃÔ½·¢ÖÇÄÜ¡¢¸ü¸ßЧ¡¢¸üÖªÐÄ¡£Î´À´ÒÑÀ´£¬×÷Ϊ¿Æ¼¼Ç°ÑصÄÎÒÃÇ£¬ÓÐÀíÓÉÏàÐÅ£¬ÕâÒ»Àå¸ï½«ÎªÕû¸öÉç»á´øÀ´Öʵı¼ÌÚ¡£
ÔÚ¸Õ¸ÕÒÑÍùµÄ¼¸ÄêÀï£¬Ëæ×ſƼ¼µÄÒ»Ö±ÍÆ½ø£¬ÈÕ±¾ÔÚÉÙÊÖÒÕÉϵÄÍ»ÆÆÕ¹Ê¾³öÁ˾ªÈ˵ÄÁ¢ÒìÄÜÁ¦¡£Õâ·ÝÍ»ÆÆ²»µ«ÌåÏÖÔÚ¿ÆÑÐÊý¾ÝÉÏ£¬¸üÌåÏÖÔÚÏÖʵӦÓòãÃæ×îÏÈÖð½¥Â䵨£¬Èá°Î¢¹ÛÌìÏ¡±ÕæÕý×ßÈë¿·¢k8¹ú¼ÊÉúÑÄ£¬´Ó¶øÉî¿ÌÓ°Ïì¿·¢k8¹ú¼ÊδÀ´ÉúÑÄ·½·¨¡£Õâ¹É¿Æ¼¼À˳±£¬ÕýÍÆ¶¯×Ÿ߾«¶È¹¤ÒµµÄÌÚ·É£¬Ò²Ô¤Ê¾×ÅδÀ´¼«¿Í¾¼ÃÓëÖÇÄÜÖÆÔìµÄÉî¶ÈÈںϡ£
ÒԸ߶˹¤ÒµÖÆÔìΪÀý£¬100nmµÄ΢ÄÉÖÆÔìÊÖÒÕ¼«´ó¸ÄÉÆÁËоƬ΢Ëõ¹¤ÒÕ£¬ÖúÍÆ°ëµ¼Ì幤ҵ¿çÈë¡°5nm¡¢3nm¡±ÉõÖÁ¸üÐ¡ÖÆÔì½Úµã¡£ÕâÑùµÄÊÖÒÕÍ»ÆÆ£¬Òâζ×ÅÐÔÄܵÄÌáÉý£¬ÄܺĵĽµµÍ£¬¸ü¸ßµÄ¼¯³É¶È£¬ÎªÈ˹¤ÖÇÄÜ¡¢´óÊý¾Ý¡¢ÔÆÅÌËãµÈÐÂÐ˹¤ÒµÌṩÁ˸üǿʢµÄÓ²¼þ»ù´¡¡£
ÈÕ±¾ÆóÒµÔÚÕâÒ»»·½ÚÕÆÎÕÁ˽¹µãÊÖÒÕ£¬Õ¼ÓÐÁ˹ú¼Ê¾ºÕùµÄÖÆ¸ßµã¡£
ÔÚÖÇÄÜÓ²¼þ·½Ã棬100nmÊÖÒÕʹµÃ´«¸ÐÆ÷±äµÃÔ½·¢Ï¸ÄåºÍѸËÙ¡£Î´À´£¬¼ÒÍ¥°²·À¡¢¿µ½¡¼à²â¡¢ÇéÐα£»¤¡¢¹¤Òµ×Ô¶¯»¯¶¼½«½èÖú΢ÐÍ»¯´«¸ÐÆ÷ʵÏÖ³¬¸ß¾«¶È¼à¿Ø¡£ÕâЩ΢ÐÍ´«¸ÐÆ÷¿ÉÒÔÖ²ÈëÒ»Ñùƽ³£ÉúÑĵĸ÷¸ö½ÇÂ䣬ʵʱÊÕÂÞ¿ÕÆø¡¢Ë®ÖÊ¡¢ÈËÌåÖ¸±êµÈÊý¾Ý£¬²¢Í¨¹ýÖÇÄÜËã·¨¾ÙÐÐÆÊÎö£¬ÎªÓû§ÌṩԽ·¢¿ÆÑ§¡¢¸öÐÔ»¯µÄ½¨Òé¡£
ÀýÈ磬δÀ´µÄ¿µ½¡ÊÖ±í²»µ«¿ÉÒÔ¼à²âÐÄÌø¡¢ÑªÌÇ£¬»¹¿ÉÒÔ¸ÐÖªÐþÃîµÄϸ°ûת±ä£¬ÌáǰԤ¾¯Ç±ÔÚ¼²²¡¡£
ÔÚÒ½ÁÆÁìÓò£¬ÄÉÃ×¼¶µÄÖÆÔìÊÖÒÕ£¬¿ÉÒÔ´òÔ쳬΢µÄÒ©ÎïÔØÌ壬׼ȷ¶¨Î»°©Ï¸°û£¬ÊµÏÖ°ÐÏòÖÎÁÆ¡£Õâ²»µ«Ìá¸ßÁËÖÎÁÆÐ§ÂÊ£¬Ò²¼«´óïÔÌÁ˸±×÷Óá£ÈÕ±¾µÄ¿ÆÑÐÍŶÓÒѾÔÚÕâ·½ÃæÈ¡µÃÁËÍ»ÆÆÐÔÏ£Íû£¬Ò»Ð©ÐÂÐ͵ÄÄÉÃ×Ò©ÎïÕý×¼±¸ÍÆÏòÁÙ´²ÊÔÑé½×¶Î¡£ÕâÈá°ÒÔ΢ÖÎ΢¡±µÄÀíÄî³ÉΪÏÖʵ£¬Ò²Öð²½×ßÏò¸öÐÔ»¯¡¢¾«×¼»¯µÄÒ½ÁÆÐÂʱ´ú¡£
ÔÚÁ¢ÒìÓ¦ÓõÄÍÆ¶¯Ï£¬ÈÕÄÚÇ鹨ÆóÒµ·×·×½á¹¹£¬Íƶ¯¹¤ÒµÁ´µÄÉý¼¶¡£ÀýÈ磬΢ÐÍ»úеÈËÔÚÒ½ÁÆÊÖÊõÖеÄÓ¦ÓÃÒѾ¿¿½üÉÌÒµ»¯£¬¿ÉÒÔ½øÈëѪ¹Ü¡¢ÐØÇ»µÈÏÁÕ¿Õ¼ä¾ÙÐÐ΢´´ÊÖÊõ£¬´ó´ó½µµÍ»¼ÕßµÄÊÖÊõΣº¦Óë»Ö¸´ÆÚ¡£Î¢Ï¸¹¤ÒÕÒ²ÈÃÖÇÄÜÒÂ×Å×°±¸±äµÃ¸üС¡¢¸üÇá¡¢¸üǿʢ¡£Î´À´£¬Í¨Ë×ÈËÅå´øµÄÖÇÄÜ×°±¸½«²»µ«½öÊÇ¿µ½¡¼à²â£¬»¹¿ÉÒÔº¸Ç¼ÒÍ¥Çå¾²¡¢ÓéÀÖ¡¢½ÌÓýµÈ¶à·½ÃæµÄÐèÇó¡£
ÖµµÃÒ»ÌáµÄÊÇ£¬Ëæ×ÅÊÖÒÕµÄÒ»Ö±Á¢Òì£¬ÖÆÔ챾ǮµÄÒ»Ö±½µµÍ£¬½«Ê¹´ó×ڸ߶Ë×°±¸×ßÈëͨË×¼ÒÍ¥¡£ºÃ±È£¬¸ß¾«¶ÈµÄ¿ÕÆø¾»»¯Æ÷¡¢ÖÇÄܼҾӿØÖÆÖÐÐÄ£¬¶¼½«ÊµÏÖ΢ÐÍ»¯£¬×ÊÖúÈËÃÇÓªÔì¸ü¿µ½¡¡¢¸üÖÇÄܵÄÉúÑĿռ䡣ÕâÒ»Çж¼Ô´ÓÚÈÕ±¾ÔÚÉÙÊÖÒÕÉϵÄÉîÖ¿»ýÀÛºÍÒ»Á¬¹¥¹Ø¡£
ÈÕ±¾»¹ÔÚÍÆ¶¯Ïà¹Ø±ê×¼ºÍÂ×Àí½¨É裬ȷ±£ÊÖÒÕµÄÉú³¤»Ý¼°ËùÓÐÈË¡£ÔÚÊý¾ÝÇå¾²¡¢Òþ˽±£»¤·½Ã棬½¨Éè¹ú¼ÊÏàÖú»úÖÆ£¬Öƶ©ÐÐÒµ¹æ·¶£¬Ê¹µÃ΢ÄÉÊÖÒÕÔÚ¹¤ÒµÖÐÄܹ»¿ÉÒ»Á¬Éú³¤£¬Ó®µÃÆÕ±é½ÓÊÜ¡£
100nmÍ»ÆÆËù´øÀ´µÄת±ä£¬²»µ«ÊÇÊÖÒÕ²ãÃæµÄ±¼ÌÚ£¬¸üÊÇÐÂʱ´úÉúÑÄ·½·¨µÄˢС£ÕâÒ»ÊÖÒÕÈÃ΢¹ÛÌìϱäµÃ´¥Êֿɼ°£¬Íƶ¯´Ó¹Å°å¹¤Òµµ½ÖÇÄÜÖÆÔìµÄÖÜÈ«Éý¼¶¡£Î´À´£¬Åãͬ×ÅÊÖÒÕµÄÒ»Ö±´ãÁ¶£¬ÈÕ±¾±Ø½«ÒýÁìÈ«ÇòÉÙÁìÓòµÄг±Á÷£¬ÎªÈËÀ࿪ÆôÒ»¸ö³äÂúÎÞÏÞ¿ÉÄܵÄÐÂʱ´ú¡£