Ò»¡¢»ù´¡ÖÊÁÏÌØÕ÷ÓëÆ¤·ôÏàÈÝ»úÀí
ÉúÎïÖÊÁϵÄÑ¡ÔñÖ±½ÓÓ°ÏìÒ½ÁÆÆ÷еµÄƤ·ôÊÊÅäÐÔ¡£Ò½Óù轺Óë¾Û°±õ¥µÈºÏ³ÉÖÊÁÏ£¬ÒòÆä¿Éµ÷ÀíµÄµ¯ÐÔÄ£Á¿Óë±íƤ×éÖ¯¸ß¶ÈÆ¥Å䣬³ÉΪ´´Ãæ·óÁϵÄÊ×Ñ¡¡£Ñо¿·¢Ã÷£¬µ±ÖÊÁÏÍâòÄÜ¿ØÖÆÔÚ30-50 mJ/m?¹æÄ£Ê±£¬¿ÉÏÔÖø½µµÍƤ·ô´Ì¼¤ÐÔ¡£ÖµµÃ×¢ÖØµÄÊÇ£¬Ë«Ç×ÐԸ߷Ö×ÓÖÊÁϵĿª·¢£¬Í¨¹ýµ÷¿ØÇ×Ë®Êèˮƽºâ£¬ÒÑʵÏÖ´´ÃæÊªÈóÇéÐεÄÖÇÄܵ÷¿Ø¡£´ËÀàÖÊÁÏÍ»ÆÆ£¬ÎªÂýÐÔÀ£ÑñÖÎÁÆ¿ª·¢ÁËз¾¶¡£
¶þ¡¢ÄÉÃ×ÊÖÒÕÔÚ±íÆ¤ÐÞ¸´ÖеÄÍ»ÆÆ
ÄÉÃ×ÒøÍ¿²ãµÄ¿¹¾úÐÔÄܽ«¹Å°å·óÁÏ¿¹¾úʱЧ´Ó24СʱÌáÉýÖÁ72Сʱ¡£Í¨¹ýÔ×Ó²ã³Á»ý£¨ALD£©ÊÖÒÕ£¬¿ÉÔÚ¾ÛÈéËáÖÊÁÏÍâò¹¹½¨50nm¼¶·À»¤²ã¡£ÕâÖÖϸÃÜÍ¿²ã²»µ«¼á³ÖÖÊÁÏÍ¸ÆøÐÔ£¬»¹ÄÜÒ»Á¬ÊÍ·ÅпÀë×ÓÔö½ø±íƤÔÙÉú¡£ÏÖÔÚµÚÈý´úÖÇÄÜ·óÁÏÒѼ¯³ÉpHÏìÓ¦¹¦Ð§£¬µ±¼ì²âµ½´´ÃæÑ¬È¾Ê±»á×ÔÖ÷ÊÍ·ÅÒ©Îï¡£ÕâÖÖÊÖÒÕË¢ÐÂÊÇ·ñÒâζ׏ŰåÉ´²¼½«Í˳öÀúÊ·Îę̀£¿ÃÕµ×ÕýÖð½¥ÇåÀÊ¡£
Èý¡¢·ÂÉúÖÊÁϵÄ×éÖ¯¹¤³ÌÓ¦ÓÃ
Ƥ·ôÖ§¼ÜÖÊÁÏ´Ó±»¶¯Ì滻תÏò×Ô¶¯ÓÕµ¼ÔÙÉú¡£½ºÔÂѰ×-͸Ã÷ÖÊËḴºÏÖ§¼Üͨ¹ýÄ£Äâϸ°ûÍâ»ùÖÊ£¨ECM£©½á¹¹£¬¿Éʹ½ÇÖÊϸ°ûǨáãËÙÂÊÌáÉý40%¡£¸üÖµµÃ¹Ø×¢µÄÊÇ4D´òÓ¡ÊÖÒÕµÄÒýÈ룬ÖÇÄÜÖÊÁÏÄÜÆ¾Ö¤Î¶Èת±ä¸Ä±ä¿×϶ÂÊ¡£ÁÙ´²Êý¾ÝÏÔʾ£¬Ê¹ÓÃÌݶȽµ½âÖÊÁϵϼÕߣ¬Êõºóñ£ºÛÃæ»ýïÔÌ57%¡£Õâ±³ºóÒþ²Ø×ÅÔõÑùµÄ·Ö×Óµ÷¿Ø»úÖÆ£¿·ÂÉúѧÓëÖÊÁÏ¿ÆÑ§µÄÈںϸø³öÁËÃյס£
ËÄ¡¢¿ÉÒÂ×Å×°±¸µÄ±íƤ¼æÈݼƻ®
ÈáÐÔµç×ÓÆ÷¼þÓë±íƤµÄÎÞ·ìÌùºÏÒÀÀµ³¬±¡¸ß·Ö×ÓÖÊÁÏ¡£Ê¯Ä«Ï©-PDMS¸´ºÏĤºñ¶È¿É×öµ½2¦ÌmÈÔ¼á³Öµ¼µçÐÔ£¬Æä¶ÏÁÑÉ쳤ÂÊ´ï300%Ô¶³¬¹Å°åÖÊÁÏ¡£ÕâÀàÖÊÁϵÄ͸ʪÂʸüÊǵִï5000g/m?¡¤day£¬ÓÐÓÃÔ¤·À½Ó´¥ÐÔÆ¤Ñס£Ò½Ñ§´«¸ÐÆ÷΢ÐÍ»¯Àú³ÌÖУ¬ÔõÑùƽºâÖÊÁÏÇ¿¶ÈÓëÉúÎïÇå¾²ÐÔ£¿¶à²ã¸´ºÏ½á¹¹Éè¼ÆÀֳɽâ¾öÁËÕâһì¶Ü¡£
Î塢δÀ´ÖÊÁϵÄÉú³¤Æ«ÏòÕ¹Íû
4D´òÓ¡¸Éϸ°ûÔØÌåÖÊÁϼ´½«½øÈëÁÙ´²½×¶Î¡£¸ÃÊÖÒÕͨ¹ýʱ¼äά¶Èµ÷¿ØÖÊÁϽµ½âËÙÂÊ£¬ÊµÏÖÉú³¤Òò×Ó½×¶ÎÐÔÊÍ·Å¡£×ÔÐÞ¸´Ë®Äý½ºµÄ×îÐÂÑо¿ÏÔʾ£¬ÖÊÁÏ¿ÉÔÚ30ÃëÄÚÍê³É¶ÏÃæ×ÔÓú£¬¿¹ÀÇ¿¶È»Ö¸´ÖÁÔʼֵ95%¡£Ëæ×ÅÀàÆ¤·ôµ¯ÐÔÌåÖÊÁϵÄÍ»ÆÆ£¬ÈËÔ캹ÏÙϵͳµÄÑз¢ÒѽøÈë¹¥¹Ø½×¶Î¡£ÕâЩǰ½ø½«ÔõÑùÖØ¹¹Æ¤·ôҽѧÃûÌã¿ÖÊÁÏ¿ÆÑ§¼ÒÒÑ»æÖƳöÃ÷È·µÄÊÖÒÕõ辶ͼ¡£
ÔÚÖÊÁÏÑ¡ÔñÕ½ÂÔÒ»Á¬ÓÅ»¯µÄÅä¾°Ï£¬Æ¤·ôÓѺÃÐÍÖÊÁϵÄÁ¢ÒìÒÑÐγÉÍêÕûÊÖÒÕϵͳ¡£´ÓÄÉÃ×Í¿²ãµ½ÖÇÄÜÏìÓ¦ÖÊÁÏ£¬Ã¿¸öÍ»ÆÆ¶¼ÔÚÖØ½ç˵ҽÁƱê×¼¡£¿ÆÑлú¹¹ÓëÁÙ´²µ¥Î»µÄÉî¶ÈÐͬ£¬Õý¼ÓËÙÕâЩÖÊÁÏÊÖÒÕÏòÁÙ´²Ó¦ÓÃת»¯£¬ÎªÖØ´óÆ¤·ô¼²²¡µÄÖÎÁÆÌṩ¸üÓŽâ¾ö¼Æ»®¡£
Ò»¡¢¹ú¼Ò¼¶IPÁª¶¯µÄÉîÌõÀíÒâÒå
±¾´Î¡¶ÍõÕßÈÙÒ«¡·ÓëлªÉçµÄÏàÖúÍ»ÆÆ¹Å°åÓÎÏ·»î¶¯µÄ½çÏߣ¬½«"ÔÆÓ§½±ÀøÍøÕ¾"´òÔìΪÊý×ÖÎÄÂÃÈںϵıê¸Ë°¸Àý¡£×÷ΪÊ׸ö½ÓÈë¹ú¼ÒͨѶÉçÓÎÏ·×ÊÔ´µÄƽ̨£¬»î¶¯ÍøÕ¾½ÓÄÉÇø¿éÁ´ÊÖÒÕ°ü¹Ü½±ÀøÊý¾ÝÇå¾²£¬Ã¿Î»Íæ¼ÒµÄרÊôƤ·ôÁìÈ¡¼Í¼¶¼½«ÌìÉúΨһÊý×ÖÆ¾Ö¤£¨DID£©¡£ÕâÖÖÊÖÒÕÊֶβ»µ«È·±£»î¶¯¹«ÕýÐÔ£¬¸ü¿ª´´"ÓÎÏ·ÐÐΪÊý×Ö»¯´æÖ¤"µÄÏȺӡ£
¶þ¡¢Èý²½½âËø×¨Êô¸£ÀûµÄÍêÕûÁ÷³Ì
¼ÓÈëÁ÷³ÌÉè¼Æ³ä·ÖÌåÏÖ"Ò»¼üÁìÈ¡"µÄ½¹µãÓÅÊÆ£¬Óû§Ö»ÐèÍê³ÉÈý¸ö°ì·¨£ºÔÚÍõÕßÈÙÒ«¿Í»§¶ËÑéÖ¤ÓÎÏ·Õ˺ţ»½Ó×Åͨ¹ýÈËÁ³Ê¶±ðÈ·ÈÏÉí·ÝÐÅÏ¢£»ÔÚ»î¶¯Ò³ÃæÌìÉúÊý×Ö²ØÆ·£¨NFTÐÎʽµÄÐéÄâÕä²ØÆ·£©¡£ÖµµÃ¹Ø×¢µÄÊÇ£¬»ñµÃµÄ"³¤°²ÈÙÂÃÓÎ"Êý×ÖͨÐÐÖ¤ÄÚº¬ÌìÏÂ30´¦ÎÄÂþ°µãµÄAR½â˵¹¦Ð§£¬µ±Óû§ÊµµØÓÎÀÀʱ£¬ÔÆÓ§½ÇÉ«½«»¯ÉíÐéÄâµ¼ÓÎͬ²½½â˵¡£
Èý¡¢ÊÖÒÕÁ¢Òì±³ºóµÄÔËÓªÂß¼
¸ÃÍøÕ¾ÔËÓÃ΢ЧÀͼܹ¹Ö§³Ö¸ß²¢·¢»á¼û£¬ÈÕ¾ù300Íò´ÎµÄ½Ó¿ÚŲÓÃÐèÇóͨ¹ýµ¯ÐÔÅÌËã×ÊÔ´¶¯Ì¬Öª×ã¡£ÌØÊ⿪·¢µÄ½±ÀøºËÏúϵͳ½ÓÄÉË«Òò×ÓÈÏÖ¤»úÖÆ£¬¼ÈÖ§³ÖÓÎÏ·Ä򵀮¤·ôÖ±½Óµ½ÕË£¬ÓÖÄÜͨ¹ýµØÀíλÖÃЧÀÍ£¨LBS£©¼¤»îÏßÏÂÎÄÂÃÈ¨Òæ¡£ÕâÖÖOMO£¨ÏßÉÏÏßÏÂÈںϣ©Ä£Ê½Îª"ÈÙÂÃÓÎ"¿´·¨ÌṩÁ˿ɸ´ÖƵÄÊÖÒÕ¿ò¼Ü¡£
ËÄ¡¢Íæ¼ÒȺÌåµÄ¶àά¼Ûֵת»¯
Êý¾ÝÏÔʾ£¬»î¶¯ÉÏÏßÊ×Öܼ´ÎüÒýÁè¼Ý1700ÍòÓû§¼ÓÈ룬ÆäÖÐ28%ΪÊ״νӴ¥ÎÄÂÃÊý×Ö²úÆ·µÄZÊÀ´úȺÌå¡£ÕâЩÓû§µÄÓÎÏ·ÄÚ»îԾʱ³¤Æ½¾ùÌáÉý26%£¬Í¬²½·¢¶¯ÏàÖú¾°ÇøÖܱßÏûºÄÔöÌí13.7%¡£ÕâÖÖË«Ïò¸³ÄÜģʽµÄÀֳɣ¬Ö¤ÊµÐéÄâµÀ¾ßÓëʵÌ徼õļÛֵת»¯Í¨µÀÒÑÕæÕýÒâ»á¡£
Îå¡¢ÐÐÒµÀå¸ïµÄÊ÷ģЧӦÓëÕ¹Íû
±¾´ÎÁª¶¯µÄÊ÷ģЧӦÒÑÒý·¢Á¬Ëø·´Ó¦£¬¶à¸öÊ¡¼¶ÎÄÂò¿·ÖÕýÔÚǢ̸ÀàËÆÏàÖú¡£»ùÓÚ"ÔÆÓ§½±ÀøÍøÕ¾"µÄµ×²ã¼Ü¹¹£¬Î´À´»ò½«¿ª·¢Ö§³Ö¶àÓÎÏ·µÄͨÓÃÐͽ±ÀøÆ½Ì¨¡£×¨¼ÒÕ¹Íû£¬ÕâÖÖÊý×ÖÆ¾Ö¤ÊÖÒÕ¿ÉÄÜÑÓÉìÖÁµç¾ºÈüÊÂÆ±Îñ¡¢ÓÎÏ·ÖܱßÔ¤ÊÛµÈÁìÓò£¬ÐγÉÍêÕûµÄÊý×Ö¾¼ÃÉú̬ϵͳ¡£
µ±ÓÎϷƤ·ôÓö¼ûÎÄÂÃÌåÑ飬"лªÉçÍõÕßÈÙÒ«ÔÆÓ§½±ÀøÍøÕ¾"´´Á¢µÄ¼ÛÖµÔ¶Áè¼ÝÐéÄâµÀ¾ßµÄÁìÓò¡£Í¨¹ýÊý×ÖÉí·ÝÈÏÖ¤¡¢Çø¿éÁ´´æÖ¤¡¢LBSЧÀ͵ÄÉî¶ÈÕûºÏ£¬¸Ãƽ̨²»µ«ÊµÏÖ"Ò»¼üÁìȡרÊôƤ·ô"µÄÓû§ÔÊÐí£¬¸ü¿ªÍسö"ÈÙÂÃÓÎ"ÐéʵÁ¬ÏµµÄÐÂÏûºÄ³¡¾°¡£ÕâÖÖÁ¢Òìģʽ»ò½«³ÉΪÓÎÏ·ÐÐÒµ¸³ÄÜʵÌ徼õÄÖ÷Òª·¶Ê½£¬ÎªÊý×ÖÖйú½¨ÉèÌṩÏʻÀý¡£